采用直線電機，使搬運、推送和長度測量系統(tǒng)小型化。
厚度：9mm，質量：130g（行程10mm時）。
***大推力：6N。
重復定位精度：±5μm。
推進測長精度：±10μm。
***高使用頻率：500cpm。