傳感器是工業(yè)自動化控制領域很重要的部件，目前，我國高性能傳感器基本依賴進口，嚴重阻礙了相關變送器產品的開發(fā)和生產，牽制和影響了民族產業(yè)的發(fā)展。在國家“863”計劃、國家中小企業(yè)創(chuàng)新基金、科技部新產品專項基金的支持下，沈陽儀表科學研究院研制成功硅電容、硅壓阻復合傳感器。該院是傳感器國家工程研究中心的依托單位，傳感器生產的工藝條件、設備條件在國內處于領先地位�？蒲腥藛T通過技術攻關，突破了影響傳感器性能的多項工藝難點和關鍵技術，研制出的高性能硅電容差壓傳感器，具有自補償效應，核心元件采用微機械加工技術，溫度范圍寬，精度高，穩(wěn)定性好，成功實現(xiàn)了新型高性能傳感器的自主開發(fā)和智能變送器核心部件的自主配套。硅壓阻復合傳感器，是能同時感受兩種或兩種以上不同被測量參數(shù)并轉換成可用信號輸出的傳感器，滿足了工業(yè)智能儀表用傳感器的需求。這兩種產品的問世并實現(xiàn)產業(yè)化，提升了我國壓力傳感器、變送器的性能檔次，縮小了儀表行業(yè)與國外產品差距，填補了我國自主生產智能儀表的空白。 

　　據(jù)了解，沈陽儀表科學研究院已經在沈陽高新區(qū)投資7000萬元，建設產業(yè)化生產基地，明年下半年投入生產后，將形成傳感器及配套儀表產品批量生產能力。